顶尖的光刻机，还需要体积小，但是功率非常高而且要稳定的光源。最新地址发送任意邮件到 ltx Sba@gmail.ㄈòМ 获取

以asml的顶尖光刻机来说，其使用波长短的极紫外光，光学系统可以说是极复杂。

有顶级的镜头和光源，没极致的机械精度，也是白搭。光刻机里有两个同步运动的工件台，一个载底片，一个载胶片。

两者需始终同步，误差在2纳米以下。两个工作台由静到动，加速度跟导弹发射差不多。

smee最好的光刻机，包含13个分系统，3万个机械件，200多个传感器，每一个都要稳定。

这些复杂的结构，以及所需要的各种