新世纪之后，电子束直写技术在芯片领域的应用大部分局限于科研和掩膜领域。最新地址发送任意邮件到 ltx Sba@gmail.ㄈòМ 获取

在电子芯片日益复杂的未来，加工一枚芯片的平均时间已经增长到了七个小时，如果芯片构造特别复杂加工一枚芯片的时间甚至高达六、七十个小时。

不过在九十年代，还有企业或研发机构试图用多光速同时加工的方式来突破电子束生产效率低下的桎梏。

比如通过多光源和多透镜使得同时工作的电子束高达上千束。

就算上千束电子束同时工作，在九十年代芯片结构比较简单的时代也只是堪堪追上曝光式光刻机的生产效率而已，不过多光