个想法简直天才～”

“十年之前，干式蚀刻和湿式蚀刻就有过路线之争，结果干式蚀刻把湿式蚀刻给淘汰了，没想到换了个思路湿式居然又复活了。”

“老聂，你这话可不准，形象点说干式蚀刻和湿式蚀刻是冲洗，和大少这个完全是两码事。”

光刻机、蚀刻机都是晶圆生产线的核心设备，由于晶圆生产的技术原理起源于相机，因此可以近似的把光刻机看成拍摄，蚀刻机看成冲洗，加工完成的晶圆就是相片。

七十年代中期，主流蚀刻机对经过光刻机曝光之后晶圆都是采用液体化学溶剂冲洗光刻胶，因此也叫湿式蚀刻，七十年代末八十年代初，东洋尼康采用气体冲洗的干式蚀刻机研制成熟，