用眼前这些简陋的设备能做到顶级加工？

但用脑子想了想，蔡司公司的专家就否决掉了这种想法。

应用顶级的短波极紫外光的光刻机，也就是EUV光刻机，它离轴反射系统有它非常独特的难点，这不是一般的投射镜片加工方式能做到的。

比如说其中的难点之一：‘离轴高精度非球面加工’。

如果按照轴对称非球面加工，这个系统的口径会超级大，最大可到540mm口径，加工难度可见一斑。

而这仅仅还是轴对称加工，轴对称加工完成后可以再磨外缘到离轴镜片状态，这样可保证加工和测试精度。

而应用于顶级EUV上的离轴高精度非球面加工